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產品型號：GF40廠商性質：經銷商更新時間：2024-07-17訪 問 量：184新品 BROOKS 可配置的多氣體/多范圍功能控制儀器 GF-40
新品 BROOKS 可配置的多氣體/多范圍功能控制儀器 GF-40
一臺設備支持多種氣體，最大限度地提高工藝靈活性和生產率。 GF40 系列彈性密封質量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術，非常適合使用多種氣體、經常更改氣體類型或保持氣體測量和控制精度的應用，是系統(tǒng)、過程和設施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測量和控制性能，將您的過程靈活性提升到一個新的水平。
利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。
簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存
通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現(xiàn)的過程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性，確保最大產量和吞吐量
用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能
支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中
利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。
簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存
通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現(xiàn)的過程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性，確保最大產量和吞吐量
用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能
支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中
流量范圍（滿量程容量）3 sccm - 50 slpm
準確性
SP 35-100% 的 1%，F(xiàn)S 2-35% 的 0.35%
再現(xiàn)性
0.20% SP
線性度
±0.5% FS（包含在精度內）
響應時間
常閉閥：300 毫秒 -<1 秒
多氣體多范圍MultiFlo™ 可用
控制范圍
2-100%
垃圾箱數(shù)量
10 個垃圾箱
閥門關閉
當設定點低于滿量程的 1.5% 時關閉閥門
零穩(wěn)定性每年 <±0.5% FS
壓力系數(shù)
0.03% 每 psi (0-50psi N2 )
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